Low-temperature annealing combined with laser crystallization for polycrystalline silicon TFTs on polymeric substrate

Authors: Privitera V., Scalese S., La Magna A., Pecora A., Cuscun M., Maiolo L., Minotti A., Simeone D., Mariucci L., Fortunato G., Caristia L., Mangano F., Di Marco S., Camalleri M., Ravesi S., Coffa S., Grimaldi M.G., De Bastiani R., Badal P., Bagiante S.
Years: 2008
Source Title: Journal of the Electrochemical Society
Doi: 10.1149/1.2965734
Venue: CNR Nanotec @ Lecce