Fabrication of 3D metallic photonic crystals by X-ray lithography

Authors: Romanato F., Businaro L., Vaccari L., Cabrini S., Candeloro P., De Vittorio M., Passaseo A., Todaro M.T., Cingolani R., Cattaruzza E., Galli M., Andreani C., Di Fabrizio E.
Years: 2003
Source Title: Microelectronic Engineering
Doi: 10.1016/S0167-9317(03)00104-7
Venue: CNR Nanotec @ Lecce