A comparative study on comb electrodes devices made of MWPECVD diamond films grown on p-doped and intrinsic silicon substrate

Authors: Muscarella M.F., Altamura D., Brescia R., Capitelli M., Casamassima G., Cassano T., Celiberto R., Cicala G., Cornacchia D., De Giacomo A., De Pascale O., Favuzzi C., Ferraro G., Fusco P., Gargano F., Giglietto N., Giordano F., Gorse C., Longo S., Loparco F., Magaletti V., Marangelli B., Mazziotta M.N., Moneger D., Nitti M.A., Raino A., Romeo A., Senesi G., Spinelli P., Valentini A., Velardi L.
Years: 2011
Source Title: Diamond and Related Materials
Doi: 10.1016/j.diamond.2011.05.018
Venue: P.LAS.M.I. Lab @ Bari